本質安全型設備指的是電路、系統在正產工作狀態下，以及規定的故障狀態下，可能產生的任何電火花或光、熱效應都不會引起規定的爆炸性氣體或粉塵混合物爆炸的電氣設備。由于本質安全型防爆技術主要是針對電路采取措施的防爆技術，因而對本質安全設備的檢查，隔爆型、增安型防爆電氣設備的檢查那樣直觀，但是也有十分規范的一套檢查程序。

首先對安全檢查的工作人員就有十分嚴格的要求，對本安型設備的檢查要有具有相關知識的人員進行。這些人員經過防爆型式、防爆安裝實踐、以及相關場所分類的一般原則等在內的專業培訓，且具有相關的資質證書。

本質安全型設備的現場檢查分為初始檢查、定期檢查和由專業人員連續監督的檢查。初始檢查往往在整套裝置或設備投入運行前的進行；定期檢查是在一定的周期內對所有電氣設備、系統和裝置進行的例行檢查；而專業人員進行的連續監督檢查，一般是在正常工作中由專業人員連續巡視，持續監督的目的將可能出現的故障今早檢測出，并進行修理或處理。

現場對本安技術文件的檢查，包括本安電路防爆技術文件；制造商、設備類型、防爆合格證號或認證編號、保護級別、氣體防爆設備、設備認證的特殊要求，每個元件或單元在總裝設備上的實際位置圖等一系列。

檢查設備標牌：對本安系統每個設備的標牌進行檢查，確保其清晰并符合文件的要求，保證實際安裝的電氣設備是規定的設備。檢查未經批準的修改，檢查本安電路“是否未經批準的修改”是個難點，例如很難測出印刷電路板的改變，盡管如此，有些未經批準修改的可能性還是應當給予適當考慮。

檢查連接電纜及電纜：對本安系統中各設備連接電纜和參數進行檢查，以保證所用電纜符合本安系統文件的要求，特別注意含有多個本安電路的多芯電纜適用性，以及當本安系統電纜和其他電纜在同一管線、管道內或電纜支架上穿過的，需考慮特別的防護措施以防止混觸，對安裝方面的檢查至少包括以下內容，電纜及其安裝的完好性和符合性，包括密封、屏蔽和接地等；系統的接地及接地的連續性，接地電阻等；本安電路與非本安電路的隔離及間距符合性；必要時的電源保護；定的保護條件或運行條件等。